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各行業(yè)中無(wú)塵車間的溫濕度標(biāo)準(zhǔn)
無(wú)塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)的溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度、噪聲、照明及靜電控制在某一需求范圍內(nèi)而特別設(shè)計(jì)的空間。
無(wú)塵車間對(duì)于溫濕度的控制主要取決于其生產(chǎn)工藝。但在滿足加工工藝的條件下,還應(yīng)考慮到車間內(nèi)人的舒適感。因?yàn)槿顺龊挂院螅?/span>會(huì)對(duì)產(chǎn)品產(chǎn)生污染。那么,各行業(yè)中無(wú)塵車間的溫濕度標(biāo)準(zhǔn)到底有什么不同呢?
一、精密機(jī)械加工業(yè)
在精密機(jī)械加工和計(jì)量等場(chǎng)合,為了防止因熱膨脹而引起的誤差,應(yīng)保持工作環(huán)境溫度的均一性。工件溫度的允許波動(dòng)幅度應(yīng)根據(jù)加工精度決定。例如,在恒溫室里對(duì)一根長(zhǎng)500mm的標(biāo)準(zhǔn)尺刻線,工藝允許線間公差為2um,其中l(wèi)um為尺溫變化所引起的形變誤差,另1um為加工與量測(cè)誤差。1um折合尺溫變化量=0.20C[a為尺線膨脹系數(shù),取10/um/(m?K);l為尺長(zhǎng),m],故工件溫度變化需在: 以內(nèi)。但由于工件測(cè)量?jī)x器等都有一定的熱惰性,空氣溫度的波動(dòng)傳人工件后,就要衰減。在設(shè)計(jì)恒溫系統(tǒng)時(shí),一般總是以恒定環(huán)境空氣溫度為依據(jù),故相應(yīng)的環(huán)境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。因此,在確定恒溫室參數(shù)和選擇自動(dòng)控制時(shí),須考慮工件恒溫恒濕車間、圍護(hù)結(jié)構(gòu)、空氣處理設(shè)備和自控系統(tǒng)之間的動(dòng)態(tài)特性。
二、電子制造業(yè)
在電子行業(yè)制造車間是zui重要產(chǎn)生靜電的地方,通常靜電會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成短路甚至?xí)斐蓡T工導(dǎo)電暈倒事故,所以電子行業(yè)的無(wú)塵車間相對(duì)濕度不應(yīng)低于30%,這樣即可以減少靜電的產(chǎn)生,通常建議無(wú)塵車間的防靜電區(qū)域相對(duì)濕度不低于50%。過(guò)于干燥的空氣中易粉塵飛揚(yáng),電子廠無(wú)塵車間無(wú)特殊要求的情況下,溫度控制在22 ℃ 左右,相對(duì)濕度控制在 55 ~ 60%RH 之間,在這種環(huán)境下,人們感覺(jué)舒適,靜電也消失了。
三、生物制藥業(yè)
在生物制藥的無(wú)塵車間中對(duì)易吸潮藥品的相對(duì)濕度要求45%~50%RH(夏季),片劑等固體制劑50%~55%RH,水針及口服液55%~65%RH 。這樣有利于更好的控制藥品的生產(chǎn)質(zhì)量。
四、集成電路生產(chǎn)加工行業(yè)
在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。
五、食品生產(chǎn)業(yè)
食品,保健品,飲料等車間對(duì)對(duì)生產(chǎn)潔凈度要求是比較高的,通常為10萬(wàn)級(jí)至萬(wàn)級(jí)以上,但同時(shí)車間的濕度越低越容易滋生細(xì)菌,細(xì)菌和其他生物污染(霉菌,病毒,真菌,螨蟲)在相對(duì)濕度超過(guò)60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對(duì)濕度超過(guò)30%時(shí)就可以增長(zhǎng)。在相對(duì)濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí),可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至zui低。
為了便于測(cè)試不同行業(yè)中無(wú)塵車間的溫濕度,我公司(宏瑞科技)自主研發(fā)生產(chǎn)了TH-40型數(shù)字式溫濕度儀。該儀器選用美國(guó)MEAS的傳感器,以數(shù)字形式顯示無(wú)塵室內(nèi)的溫濕度,測(cè)試精度高、測(cè)試準(zhǔn)確,可廣泛應(yīng)用于電子、制藥、生物技術(shù)、航空航天等生產(chǎn)、科研部門,是制藥企業(yè)和質(zhì)量監(jiān)督部門貫徹GMP規(guī)范加強(qiáng)生產(chǎn)環(huán)境管理的理想儀器。
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