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潔凈工程等級標準通常依據(jù)不同的行業(yè)、應(yīng)用場景以及相關(guān)的規(guī)范標準來劃分,以下是一些常見的潔凈工程ISO等級標準:國標 ISO 14644-1:
- ISO 1級:每立方米空氣中≤0.1個直徑≥0.5μm的顆粒物。這是非常高的潔凈等級,常用于對環(huán)境要求嚴格的半導體制造、高精度電子元件生產(chǎn)等領(lǐng)域,例如制造集成電路的微電子工業(yè)。
- ISO 2級:該等級的潔凈度要求也非常高,具體的粒子濃度限制比 ISO 1級略高一些,但仍然屬于很高潔凈度的范疇。
- ISO 3級:每立方米空氣中≤1個直徑≥0.5μm的顆粒物。常用于一些對潔凈度要求很高的實驗室、精-密儀器制造等場所。
- ISO 4級:每立方米空氣中≤10個直徑≥0.5μm的顆粒物。在半導體制造的一些特定環(huán)節(jié)、高的等級光學產(chǎn)品生產(chǎn)等場景會應(yīng)用到這個等級的潔凈室。
- ISO 5級:每立方米空氣中≤100個直徑≥0.5μm的顆粒物。可適用于一些對環(huán)境潔凈度要求較高的醫(yī)藥生產(chǎn)、生物實驗等,比如無菌藥品的生產(chǎn)中,B 級背景區(qū)域的靜態(tài)潔凈度要求就是 ISO 5級。
- ISO 6級:每立方米空氣中≤1000個直徑≥0.5μm的顆粒物。常用于一般的電子裝配、食品加工等對潔凈度有一定要求的場所。
- ISO 7級:每立方米空氣中≤10000個直徑≥0.5μm的顆粒物。在食品飲料生產(chǎn)、普通制藥等行業(yè)應(yīng)用較多,例如一些藥品生產(chǎn)過程中重要程度較低操作步驟的潔凈區(qū)可能會采用 ISO 7級的潔凈標準。
- ISO 8級:每立方米空氣中≤100000個直徑≥0.5μm的顆粒物。適用于對潔凈度要求相對較低的工業(yè)生產(chǎn),如部分機械加工、普通化工生產(chǎn)等。
- ISO 9級:每立方米空氣中≤1000000個直徑≥0.5μm的顆粒物。該等級的潔凈度較低,一般用于一些對環(huán)境要求不太嚴格的工業(yè)場所。
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