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潔凈室等級之千級潔凈度
要了解千級潔凈室,我們先來了解“無塵"這個概念。
按例,潔凈室等級主要是根據(jù)每立方米空氣中塵埃粒子直徑超過劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂“無塵“并非沒有一點灰塵,而是控制在一個極低的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,在光學設(shè)備生產(chǎn)廠房中,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,千級的粒子數(shù)量是必然的要求。
潔凈度:
將不大于0.5微米粒徑的塵埃粒子數(shù)量控制在每立方米3500個以下,就達到了國際無塵標準的A等級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A等級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
壓差:
對于大部分凈化無塵車間,為了防備外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應符合以下原則:潔凈區(qū)域的壓力要高于非潔凈區(qū)域的壓力;潔凈度級別高的區(qū)域的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的區(qū)域的壓力;相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。
壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。
溫濕度:常規(guī)是溫度22±2度,濕度55±5%。
應用場合:芯片生產(chǎn);高質(zhì)量光學產(chǎn)品的生產(chǎn);還用于測試,裝配飛機蛇螺儀;裝配高質(zhì)微型軸承等。
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